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查看: 3704|回复: 1

[求助] sentaurus sprocess仿真关于氢氦注入的问题求助

发表于 2012-3-2 17:34:24 | 显示全部楼层 |阅读模式

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各位大侠好，我在做sentaurus sprocess仿真时想在硅里注入氢，但是出现一下错误："no implant table file for species hydrogen in material silicon"请哪位大侠帮忙解答一下该怎么解决这个问题？

非常感谢！

sentaurus, sprocess, 工艺仿真

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发表于 2012-10-22 11:05:48 | 显示全部楼层

这个应该和材料库中有关系，可以掺杂的材料你可以参考SDE里面的内容，如果想掺杂H的话，就需要另外定义。

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