请问什么是TCD cell

eceiev

学习了，tsmc测试良率用的

wenfangsibao

l690527 发表于 2019-6-11 23:05
就是 FAB 定位 檢測用的
在chip 每2000um 左右 塞一個

请问什么是 BEOL TCD or FEOL TCD？
我的理解是，BEOL （全称是？）就是 backend 相关的内容，就是指 metal layer 等； FEOL （全称是？）就是前段相关的内容，是指标准单元等。所以我的推测是，BEOL TCD 就是在 metal layer 中放置的宏单元，FEOL TCD 就是只占据 base layer 的宏单元？所以 BEOL TCD 放置在下，FEOL TCD 放置在上，堆叠起来。

您在帖子里提到 ：
这些是在电源规划后插入的，我们也可以将 BEOL TCD 堆叠在 FEOL TCD 上以节省放置面积，但具有金属层 M 的 BEOL TCD 不能放置在 M 层布线上。
如果 FEOL TCD 位于 M 层布线上，则具有金属层 M 的 BEOL TCD 不能与该 FEOL TCD 堆叠。

以上红色字体的两句话不是很明白。第一，为什么具有金属层 M 的 BEOL TCD 不能放置在 M 层布线上；第二，FEOL TCD 为什么会位于 M 层布线上呢？？

热爱IC的小白

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