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[求助] 请问下TSMC工艺中MIM电容的CTM层和CTB层

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发表于 2017-3-15 15:40:00 | 显示全部楼层 |阅读模式

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最近在建模仿真MIM电容时，TSMC工艺中MIM电容的CTM层和CTB层的结构是怎样，他们的厚度和两层直接的间距，怎么确定呀 QQ图片20170315153935.png
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leave22
发表于 2017-3-16 11:29:59 | 显示全部楼层
interconnect model里有你所需要的信息
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