IC51 修改格点到0.5nm

kevin_l

回复 1# roro_mm
你确定是0.5nm？不是你单位搞错了？你这也太小了

roro_mm

回复 10# dotana

数据适应opc格点，需要达到这个。另外14nm或者7nm工艺应该开始也需要更小的grid了吧。

roro_mm

回复 11# kevin_l


    是的，没有搞错。就是要到达和opc后格点一致。0.5nm。