sealring和core之间需要加dummy layer吗？

ic_shuo · 发表于 2017-7-18 15:36:44

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请问对于s1这部分需要消除layer density error吗？还是保持着部分空白忽略掉density errors？

kevin_l · 发表于 2017-7-18 16:47:27

联电工艺，很少用

suly · 发表于 2017-7-18 17:01:47

不需要

ic_shuo · 发表于 2017-7-18 17:08:08

回复 3# suly

请问你们就是把S.1这部分空着，什么层次也不放，对吗？

ic_shuo · 发表于 2017-7-18 17:10:19

如果是空着，会不会影响芯片的平坦性，对芯片造成什么影响？

Snowy2016 · 发表于 2017-7-18 17:46:23

以前的经验，sealring和core之间会净空，也有用来跑ground metal的，这个ground也就是sealring的电位。

ic_shuo · 发表于 2017-7-19 09:37:12

谢谢大家的回答

xuelong1991 · 发表于 2019-4-6 10:44:54

一般会空着

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[求助] sealring和core之间需要加dummy layer吗？