工艺中DN层与TB层的详细差别

Tianyi_1990 · 发表于 2017-10-18 17:34:46

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求工艺中DN层与TB层的详细差别，求专业解答

Tianyi_1990 · 发表于 2017-10-19 09:45:18

掺杂浓度分别为多少？结深分别为多少？基于典型工艺

justdoit1019 · 发表于 2017-10-20 17:34:04

DN的浓度低，TB的浓度高，另外，DN的深度比TB深，DN一般用在中高压器件中，TB应用在低压器件中

Tianyi_1990 · 发表于 2017-10-24 10:26:43

回复 3# justdoit1019
谢谢解答

茶清味 · 发表于 2017-10-26 10:41:22

回复 3# justdoit1019
我们0.18工艺的DN是低压模拟用的高压用的HN 至于TB应该没有高低压区分吧！

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[原创] 工艺中DN层与TB层的详细差别