在三星工艺中哪个层次相当于tsmc的psub2层

china8894 · 发表于 2019-6-11 09:42:58

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问题如标题所示。

寻雨 · 发表于 2019-6-11 10:21:00

可以查看lvs验证文件找一下那一层，一般lvs文件开头都会有介绍，或者搜索关键词isolation找找看

china8894 · 发表于 2019-6-11 10:56:53

寻雨发表于 2019-6-11 10:21
可以查看lvs验证文件找一下那一层，一般lvs文件开头都会有介绍，或者搜索关键词isolation找找看 ...

没找到啊

寻雨 · 发表于 2019-6-11 11:09:23

china8894 发表于 2019-6-11 10:56
没找到啊

在lvs验证文件肯定是能找到的，因为能不能把psub隔开是在LVS验证文件定义的，或者你可以找找其他文档，比如design rule或者像TSMC一样有单独的文档介绍

andrewxj · 发表于 2019-6-11 14:09:20

SXCUT drawing

石头遇见雪 · 发表于 2019-6-13 10:28:05

刚好做过三星的工艺，应该是叫LSUB

石头遇见雪 · 发表于 2019-6-13 10:28:42

三星工艺的叫LSUB

石头遇见雪 · 发表于 2019-6-13 10:28:59

叫LSUB

le_levi · 发表于 2019-6-13 13:11:48

5楼正解，SXCUT drawing

bobobelieve · 发表于 2019-6-13 16:43:02

le_levi 发表于 2019-6-13 13:11
5楼正解，SXCUT drawing

SXCUT是GF的

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