天线效应

CZB的筱 · 发表于 2019-12-8 14:54:47

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天线效应为什么要向上层金属跳线，什么原理？

2372290874 · 发表于 2019-12-8 16:28:53

在金属逐层的制作时会对下层的金属进行消除静电的操作，所以可以向上层跳一小段的金属线，将大量的电荷在金属线还没有接到gate时消去。

叶落 · 发表于 2019-12-9 09:57:26

2楼正解

wmd201409 · 发表于 2019-12-10 09:26:15

2372290874 发表于 2019-12-8 16:28
在金属逐层的制作时会对下层的金属进行消除静电的操作，所以可以向上层跳一小段的金属线，将大量的电荷在金 ...

为什么在28nm以后感觉跳线对ANT作用不大了呢，是28nm以后的工艺都不用去离子水了吗？

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