shotmap是什么？

tfjim · 发表于 2022-1-5 09:18:56

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shotmap，我感觉是芯片在wafer上的排布，但是为什么要叫做shotmap呢？

lijie5992373 · 发表于 2022-1-5 09:43:09

光刻一次曝光在晶圆上留下的芯片阵列图形3X3,3X4等，就是一个shot；一片晶圆经过多次曝光，就有了shot map

tfjim · 发表于 2022-1-5 10:29:48

lijie5992373 发表于 2022-1-5 09:43
光刻一次曝光在晶圆上留下的芯片阵列图形3X3,3X4等，就是一个shot；一片晶圆经过多次曝光，就有了shot map ...

谢谢了

zsh114828 · 发表于 2022-12-14 15:10:57

请教下2楼，这个shot是不是也叫field

xuwenguang · 发表于 2023-1-18 16:03:20

我们这边一般把gds在Frame（mask）上的排布叫shotmap，把Frame（mask）在wafer上的排布叫wafer map

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