before shrink是什么意思啊？

orientview

请教大家

maomao198477

shrink(缩减/缩小） before自己查

nettlefish123

有些工艺流程中有shrink这一步，比如shrink ratio=0.9时，gds上画个1um，实际mask出来的时候就变成0.9um。

orientview

nettlefish123 发表于 2023-1-10 18:08
有些工艺流程中有shrink这一步，比如shrink ratio=0.9时，gds上画个1um，实际mask出来的时候就变成0.9um。
...

谢谢，什么工艺流程会需要shrink这一步？

shrink之后，对芯片性能会有影响吗？特别是模拟或者射频电路之类的。。。寄生参数是不是都变了？

小孩忒坏

shrink是为了加速和简化工艺研发。例如：110nm的工艺就是基于130nm工艺shrink得到的。
只要是foundary给出的PDK都是准确的，模型也是基于shrink后的构建的。
流程如楼上所说，你将GDS给foundary，foundary对于版图进行shrink，然后制作mask，芯片上实际加工的尺寸是版图尺寸shrink后的尺寸。

nettlefish123

orientview 发表于 2023-1-10 20:27
谢谢，什么工艺流程会需要shrink这一步？

shrink之后，对芯片性能会有影响吗？特别是模拟或者射频电路之 ...

楼上正解，设计阶段用的model是shrink后的model，所以shrink不会影响性能。

工艺流程是否需要shrink一般在design rule文档里有说。