如何确定工艺有无外延层？

tfjim · 发表于 2024-5-20 16:54:02

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有些design rule，这方面的信息很少，有外延层的工艺，一般是BCD工艺吧，也就是有NBL的工艺，一定有外延？

hvcom工艺是没有外延的？

teresa_xie · 发表于 2024-5-20 20:28:28

一般情况下design rule 中前几页会有technology overview 里面会有详细说明，况且外延层是额外算作一层mask的吧

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