版图求助：HL28nm工艺中NRG是什么层次

二龙山小道士 · 发表于 2024-10-8 09:38:23

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请问HL28nm工艺中，NRG是哪一层呀。工艺文件里解释是N-Type WF metal define

我本是高山 · 发表于 2024-10-8 20:00:44

WF是什么

二龙山小道士 · 发表于 2024-10-10 10:53:59

我本是高山发表于 2024-10-8 20:00
WF是什么

我在design rule中也没找到这个

YouJianHuang · 发表于 2024-11-14 22:25:14

Work function，NRG是把NMOS不需要的Work function metal TIN去除。

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