smic0.18bcd工艺LDmos,dummy器件

P_duan · 发表于 2020-11-5 11:57:22

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这个smic0.18bcd工艺的dummy要怎么加啊？我看design rule 里面就只介绍了一下层次之间的的基本定义？cmos工艺下加的dummy器件都是参考mos管本身的，这个BCD工艺LDmos还真不知道怎么加dummy？是要自己画么？感觉BCD工艺的LDmos不需要单独在加dummy器件了，本身LDmos都有单独用HVBN来进行隔离，大佬有时间讲讲LDmos相关的内容，这个BCD工艺LDmos有点儿无从下手的感觉。
dummy rule.jpg

shidihahaha · 发表于 2020-11-5 15:03:36

有专门的dummy insertion runset. 跟SMIC 要。runset是根据这些rule写好的脚本。

P_duan · 发表于 2020-11-5 15:31:00

shidihahaha 发表于 2020-11-5 15:03
有专门的dummy insertion runset. 跟SMIC 要。runset是根据这些rule写好的脚本。

您的意思是需要根据工艺提供的规则自己画？之前做coms工艺dummy器件都是直接用的管子来作为dummy器件的。

shidihahaha · 发表于 2020-11-5 15:54:51

P_duan 发表于 2020-11-5 15:31
您的意思是需要根据工艺提供的规则自己画？之前做coms工艺dummy器件都是直接用的管子来作为dummy器件的。 ...

脚本自动产生的。一般是用calibre drc工具，读入没加dummy的GDS，读入脚本，run，就产生了一个dummy gds. 两个merge起来就是最终gds

P_duan · 发表于 2020-11-5 16:13:54

shidihahaha 发表于 2020-11-5 15:54
脚本自动产生的。一般是用calibre drc工具，读入没加dummy的GDS，读入脚本，run，就产生了一个dummy gds. ...

还是不太明白呢，我看ruls里面有介绍说什么dummy metal，dummy AA ,dummy poly等等，这些都代表啥意思？dummy器件上的层次定义？

shidihahaha · 发表于 2020-11-5 17:58:58

P_duan 发表于 2020-11-5 16:13
还是不太明白呢，我看ruls里面有介绍说什么dummy metal，dummy AA ,dummy poly等等，这些都代表啥意思？d ...

嗯，工艺层。可以看design rule，这些dummy pattern会和 main pattern版图上layer number一样，用datatype区别。制造时merge，做到同一张Mask上。

Huangshu · 发表于 2021-3-23 11:04:03

shidihahaha 发表于 2020-11-5 17:58
嗯，工艺层。可以看design rule，这些dummy pattern会和 main pattern版图上layer number一样，用datatyp ...

您好，您对SMIC 0.18BCD清楚吗？他的文档太多太复杂了，不知道从哪开始看。

tjuzhjian · 发表于 2021-4-6 15:02:07

楼主有smic18 bcd工艺库吗？

jeffej · 发表于 2021-4-14 14:30:02

auto generation by runset

j635 · 发表于 2021-4-21 11:27:15

楼主有SMIC 0.18 BCD工艺库吗？想求一份谢谢~~

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