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[求助] tsmc工艺mimcap引起的天线效应

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发表于 2024-7-3 10:17:58 | 显示全部楼层 |阅读模式

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tsmc工艺mimcap引起的天线效应
90.jpg
 楼主| 发表于 2024-7-3 10:19:18 | 显示全部楼层
#在这里快速回复#跳线已经试了 还是消不掉
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发表于 2024-7-3 16:32:33 | 显示全部楼层
加diode
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发表于 2024-7-3 17:15:56 | 显示全部楼层
下极板不能直接连出去,要先跳到顶层在连出去
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发表于 2024-7-3 17:42:40 | 显示全部楼层
jiao.chi 发表于 2024-7-3 10:19
#在这里快速回复#跳线已经试了 还是消不掉

加二极管可以消除,遇到过

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发表于 2024-7-4 10:50:26 | 显示全部楼层
mincap用了哪几层金属哈
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 楼主| 发表于 2024-7-4 16:11:31 | 显示全部楼层
T-Mc 发表于 2024-7-4 10:50
mincap用了哪几层金属哈

4和3 解决了 两块电容下级版都接gnd  但是有个电容上级版接到5了 而另一个并没有接5  我将两块电容的下级版接地分开了 一个直接跳到五 另一个跳到4就好了
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发表于 2024-7-5 10:08:14 | 显示全部楼层
jiao.chi 发表于 2024-7-4 16:11
4和3 解决了 两块电容下级版都接gnd  但是有个电容上级版接到5了 而另一个并没有接5  我将两块电容的下级 ...

楼主你的工艺是几层金属的?怎么用Metal3和metal4做的电容,上面还能有metal5?方便说明是台积电的什么工艺吗?我只见过顶层、次顶层和CTM构成的MIM cap。
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发表于 2024-7-5 10:10:43 | 显示全部楼层
jiao.chi 发表于 2024-7-4 16:11
4和3 解决了 两块电容下级版都接gnd  但是有个电容上级版接到5了 而另一个并没有接5  我将两块电容的下级 ...

楼主你的工艺是几层金属的?怎么用Metal3和metal4做的电容,上面还能有metal5?方便说明是台积电的什么工艺吗?我只见过顶层、次顶层和CTM构成的MIMCAP
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发表于 2024-7-5 10:11:34 | 显示全部楼层
jiao.chi 发表于 2024-7-4 16:11
4和3 解决了 两块电容下级版都接gnd  但是有个电容上级版接到5了 而另一个并没有接5  我将两块电容的下级 ...

楼主你的工艺是几层金属的?怎么用Metal3和metal4做的电容,上面还能有metal5?方便说明是台积电的什么工艺吗?我只见过顶层、次顶层和CTM构成的MIMCAP
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