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EETOP 创芯网论坛 (原名：电子顶级开发网)»论坛 › IC 设计及制造（半导体、微电子） › 集成电路生产/封装/工艺 › 生产/封装讨论区 › SMIC 55nm CMOS 铜工艺Via用的是什么材料？

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楼主: hmsheng

[求助] SMIC 55nm CMOS 铜工艺Via用的是什么材料？

发表于 2018-9-29 15:32:03 | 显示全部楼层

好材料哦！

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发表于 2018-10-8 15:23:33 | 显示全部楼层

请教CU制程一般是TRENCH FIRST还是VIA FIRST？ CU制程上面的AL PAD怎么做的？

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发表于 2018-10-14 11:16:50 | 显示全部楼层

请问45/32NM的AL PAD怎么做的？

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发表于 2019-1-3 15:43:01 | 显示全部楼层

12寸长基本都是从40/45nm开始的，都是用的Cu

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