HR poly结构设计

peterlin2010

dummy poly 是怕etch 吃到所以早期是圍一圈同寬, 後來改成小條兩邊 ,

resistor 上蓋 metal 除 metal density , 還有就是做 shielding 使用
另外是不希望有 signal path 跨過poly , 很多 resistor 如果上有電壓會有影響阻值 ,
另個是 HR poly resistor breakdown 多少 ?  以前發生過串到 40v 有出事 ,

不過 一般蓋 metal 來說阻值不會差到如此多 , 除非 process 有問題 ,但因不制如此
那家工藝??
還有你真的是下針量兩端阻抗嗎??
如不是如何判定說電阻變大??