英特尔携手Nikon开发450mm晶圆步进机

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据日本经济报Nikkei Shimbun报导，全球第二大步进机制造商Nikon Corp.正与英特尔 ( Intel )公司合作，开发下一代450mm 晶圆用制程设备。据报导，Nikon预计2018年可商品化。

有关英特尔将挹注多少资金来支援Nikon目前尚不清楚。据日本媒体报导，英特尔显然已经决定承担数百亿日圆的Nikon开发成本。

英特尔发言人Chuck Mulloy表示目前不就该报导发表评论。

七月初，英特尔甫收购ASML Holding NV公司15%股份，这项金额达41亿美元的交易包含了加快超紫外光(EUV)微影技术的研发，以及其他朝450mm晶圆转移的所需技术。

英特尔投资的41亿美元中，约有21亿美元是对ASML公司的股权投资，用于取得10%的ASML公司股份。该公司表示，在不久的将来也将以10亿美元买下另外5%的ASML股份。

几天前，代工巨擘台积电(TSMC)也宣布以类似方法获得ASML公司5%的股份。