请教个问题，我们说的前道和后道尺寸分别指什么

hwynhh@163.com · 发表于 2015-8-10 16:38:59

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请教个问题，我们说的前道和后道尺寸分别指什么？具体指哪个尺寸？比如前道0.5后道0.35谢谢指教

motofatfat · 发表于 2015-8-11 10:24:04

看不懂你的問題是 W/L
中的 W 和 L 嗎 ?

mangoch · 发表于 2015-8-11 10:58:35

front end最小线宽0.5，back end最小线宽0.35吧

hwynhh@163.com · 发表于 2015-8-11 15:46:55

回复 2# motofatfat

谢谢。我问了一个同事，得到答案了。前道就是指contact之前的工艺，con之后的工艺就是后道。有时候为了一些目的会把两个不同的工艺合起来就有了前道后道的区分。

hwynhh@163.com · 发表于 2015-8-11 15:48:25

回复 3# mangoch

是的，不过不同的工艺数据应该不一样吧

ZMOS · 发表于 2015-8-11 16:49:04

front end晶體管閘極minmum width=0.5;back end晶體管閘極minmum width=0.35

hwynhh@163.com · 发表于 2015-8-11 18:05:51

回复 6# ZMOS

求解0.5 和 0.35具体指哪个值？谢谢

ZMOS · 发表于 2015-8-12 09:45:17

MOS gate width

motofatfat · 发表于 2015-8-12 09:52:47

應該是 L

mangoch · 发表于 2015-8-12 11:39:19

回复 7# hwynhh@163.com
特征尺寸，在某个工艺中所得达到的最小尺寸。一般front-end为poly的最小尺寸，back-end为metal或者contact等等的最小尺寸，
反正哪个层次的最小宽度最小，其值就作为特征尺寸，不同工艺的值对应的值不同，对应的层次也可能不同。

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