关于salicide Poly resistor

Samkeibe · 发表于 2017-12-13 18:00:27

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有没有前辈有详细介绍 Salicide Poly resistor 的文章
看到的都是 Salicide 工艺用在mos上来降低源漏电阻的应用有没有直接用在多晶硅电阻上的方式？
请各位前辈帮忙，谢谢大家。

m2ic · 发表于 2017-12-13 18:42:14

有的，low value poly resistor
你能想到的，即有机会去实现！

Samkeibe · 发表于 2017-12-14 09:31:42

回复 2# m2ic

谢谢前辈有没有相关资料呢

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