怎么获取制程中的介质厚度/介电常数/方块电阻等信息

ZMOS · 发表于 2020-11-11 10:17:55

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请问各位大神，怎么获取制程中的介质厚度/介电常数/方块电阻等信息？用以设计电感和仿真电感

spartan313 · 发表于 2020-11-11 10:25:57

pdk design manual

tuohong · 发表于 2020-11-11 10:31:33

介电常数应该不会给出来。两外两个可以查fab的文档。

ZMOS · 发表于 2020-11-11 11:25:12

tuohong 发表于 2020-11-11 10:31
介电常数应该不会给出来。两外两个可以查fab的文档。

FAB的哪些文档呢？

hitzhabc · 发表于 2020-11-11 13:22:57

介电常数一般没。其余的几何参数可以在相关的文档里查找，如果没有详细的文档，可以在pex rule里查看，各层的厚度等等都有。

ZMOS · 发表于 2020-11-11 14:06:40

hitzhabc 发表于 2020-11-11 13:22
介电常数一般没。其余的几何参数可以在相关的文档里查找，如果没有详细的文档，可以在pex rule里查看，各层 ...

pex rule里面各层厚度都是二进制代码

ZMOS · 发表于 2020-11-11 14:08:34

geo24 发表于 2020-11-11 10:25
pdk design manual

DR里面连Metal厚度都省略了

hitzhabc · 发表于 2020-11-11 14:21:42

ZMOS 发表于 2020-11-11 14:08
DR里面连Metal厚度都省略了

那就去pex的rule里面去看，寄生参数提取一定要厚度参数的，肯定有。

ZMOS · 发表于 2020-11-11 14:24:21

hitzhabc 发表于 2020-11-11 14:21
那就去pex的rule里面去看，寄生参数提取一定要厚度参数的，肯定有。

这个是FinFET工艺，都是二进制代码

hitzhabc · 发表于 2020-11-11 15:18:52

ZMOS 发表于 2020-11-11 14:24
这个是FinFET工艺，都是二进制代码

呃...加密过的那就没辙了，跟厂家要吧，看能给不？

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