HFSS 电感仿真

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各位大佬，最近在学用HFSS仿真电感，仿真的L值总是偏大一点，各位有知道一般是什么原因吗？
具体是把PDK里的电感模型，通过GDS导入到HFSS里，用HFSS的3D layout,然后自己根据工艺文档编写仿真的那些层的厚度，介电常数信息。然后去仿真，现在怀疑是层设置有问题，仿真的是2nH的电感，最后仿真结果是2.4nH，偏大了0.4nH，看别人都说HFSS仿真挺准的。

用的是smic40nm的工艺，40RF_1P10M_8lc_1TMc_MTTc_ALPA1,以下是我编写的HFSS layout示意图，不太确定是不是这里出了问题还是别的设置有问题

andyfan

我不懂电感仿真，但是看你图里面的工艺文件的图，有点过于简单。实际金属之间还有介质，而且构成有阻挡层金属层等好几层构成的，我不知道是不是这个你写简单了造成的。下面是我直接工艺ITF文件截取的，T的 40的；S家应该类似。很明显M6和M5之间不是一个V5就能概括的。你好多层金属之间的dielectric我都没看到，不知道是图不完整，还是你没写全。

DIELECTRIC IMD6a          {THICKNESS=0.665000        ER=4.2 }
DIELECTRIC IMD5c          {THICKNESS=0.075000        ER=8.1 }
DIELECTRIC IMD5b        {THICKNESS=0.150000        ER=2.55        DAMAGE_THICKNESS=0.01        DAMAGE_ER=3.1 }
CONDUCTOR metal5 {THICKNESS= 0.150000
    SIDE_TANGENT = 0.100000
    POLYNOMIAL_BASED_THICKNESS_VARIATION {
         DENSITY_POLYNOMIAL_ORDERS  { 4, 3, 2, 1, 0 }
         WIDTH_POLYNOMIAL_ORDERS  { 4, 3, 2, 1, 0 }
         WIDTH_RANGES {0.113 4.0500}

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andyfan 发表于 2023-7-3 21:15
我不懂电感仿真，但是看你图里面的工艺文件的图，有点过于简单。实际金属之间还有介质，而且构成有阻挡层金 ...

感谢您的回复，

我是根据如下图对介质层做了一个等效，这样简化去仿真了，我这里看金属之间的介质层是由2~4层的介质组合成，而且看起来中间层的介质层都是同样的介电常数
这是在一篇论文中看到的方法，您觉得问题是出在介质层的设置方面吗

rayhardenne

首先确认你仿真HFSS的电感时和PDK里的电感用的是同一个testbench，然后看一下Q值、自谐振频率。40nm PDK的电感一般就model到20GHz左右吧，关注一下DC附近的电感值是否就已经偏大了15%

sixye

40nm要shrink的

940360102

sixye 发表于 2023-7-4 13:45
40nm要shrink的

感谢老哥，shrink了以后仿真结果确实对了

leibniz

sixye 发表于 2023-7-4 13:45
40nm要shrink的

请问shrink是怎么弄的呢？

sixye

leibniz 发表于 2024-3-13 10:49
请问shrink是怎么弄的呢？

我是ads去弄的

leibniz

sixye 发表于 2024-3-14 17:19
我是ads去弄的

ads又怎么弄呢，有具体点的过程吗？

hzt_0401

leibniz 发表于 2024-3-13 10:49
请问shrink是怎么弄的呢？

可以在HFSS里面的edit-scale里面调shrink的比例